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單晶爐控制系統(tǒng)解決方案

文章來源：本站人氣：2141發(fā)表時間：2015-09-01 08:53:55 【小中大】

單晶爐是生長硅單晶的主要設備，是在惰性氣體環(huán)境中，通過石墨電阻加熱器將 多晶硅加熱融化，然后用軟軸直拉法生長無位錯的單晶生長設備。下圖是單晶爐 圖片及系統(tǒng)構造圖：



單晶爐控制系統(tǒng)相關功能如下：
1. 伺服應用于坩堝升降及籽晶提升系統(tǒng)；
2. 觸摸屏進行數據輸入及狀態(tài)顯示；
3. 視覺實時測量晶棒生長尺寸；
4.PLC 承載著整個系統(tǒng)的運算及執(zhí)行。

OMRON FZ3 產品特點：
1. 達到前所未有的高精度測量 --500 萬像素；
2. 全景圖象處理 -- 將 2 臺或多臺相機圖象進行合成；
3. 高動態(tài)范圍的功能 --FZ3 可以獲得高達 500 ： 1 的動態(tài)范圍；
4. 圖像失真修正 -- 減少輸送過程或照相機位置的影響；
5. 高速防光暈過濾器 -- 通過分析光的波長來消除產生光暈的鏡面反射。
使用FZ3特有的“圓弧搜索”功能測量“引晶”“放肩”工藝，用“邊緣搜索”功能測量“轉肩”“等徑”工藝?！耙А彪A段采集10個數據，“等徑”采集80個數據，大大提升了FZ3測量精度和數據穩(wěn)定性。

以下是FZ3在OC構造的單晶爐控制系統(tǒng)中拍攝的圖片：

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